BS ISO 21360-4:2018
真空技術 真空ポンプの標準性能測定方法 ターボ分子真空ポンプ
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BS ISO 21360-4:2018
規格番号
BS ISO 21360-4:2018
制定年
2018
出版団体
British Standards Institution (BSI)
最新版
BS ISO 21360-4:2018
BS ISO 21360-4:2018 規範的参照
ISO 21360-1:2012
真空技術 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 第 1 部: 概要
ISO 3529-2
真空技術 - 用語解説 - 第 2 部: 真空ポンプと関連用語
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2020-02-25 更新するには
BS ISO 21360-4:2018 発売履歴
2018
BS ISO 21360-4:2018
真空技術 真空ポンプの標準性能測定方法 ターボ分子真空ポンプ
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