ISO 21360-4:2018
真空技術 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 第 4 部: ターボ分子真空ポンプ

規格番号

ISO 21360-4:2018

制定年

2018

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 21360-4:2018

範囲

この文書は、ISO 21360-1 と連携して、ターボ分子真空ポンプの性能特性の測定方法を規定しています。 これは、メカニカルベアリングまたは磁気ベアリングを備えたターボ分子真空ポンプを含む、あらゆるサイズおよびあらゆるタイプのターボ分子真空ポンプに適用できます。 - シャフト上の追加のドラッグステージまたは他のポンピングステージの有無。 — 1 つ以上の入口ポートを備えています。 ターボ分子真空ポンプは一次ポンプによって支えられているため、その性能を体積流量曲線によって完全に定義することはできません。 また、ターボ分子真空ポンプの性能には駆動装置や背圧も重要です。 以下は性能特性の完全な説明です。 - ターボ分子真空ポンプのスループットと背圧に関する情報。 — 圧縮比曲線 (圧縮比 vs ターボ分子真空ポンプの背圧)。

ISO 21360-4:2018 規範的参照

• ISO 21360-1:2012 真空技術 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 第 1 部: 概要

ISO 21360-4:2018 発売履歴

• 2018 ISO 21360-4:2018 真空技術 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 第 4 部: ターボ分子真空ポンプ