ISO/TS 20175:2018
真空技術、真空計、分圧測定用四重極質量分析計の特性

規格番号

ISO/TS 20175:2018

制定年

2018

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO/TS 20175:2018

ISO/TS 20175:2018 規範的参照

• DIN 28410:1968 真空技術、質量分析分圧計、定義、特性、動作条件
• ISO 14291:2012 真空計、四重極質量分析計の定義と仕様
• ISO 3567:2011 真空計 基準ゲージとの直接比較により校正
• ISO/IEC GUIDE 98-3:2008 測定の不確かさ パート 3: 測定の不確かさの表現に関するガイドライン (GUM-1995)

ISO/TS 20175:2018 発売履歴

• 2018 ISO/TS 20175:2018 真空技術、真空計、分圧測定用四重極質量分析計の特性