ISO 20411:2018
表面化学分析、二次イオン質量分析、単一イオンカウンティング動的二次イオン分析における飽和強度の補正方法。

規格番号

ISO 20411:2018

制定年

2018

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 20411:2018

範囲

この文書は、パルス計数磁気セクター型二次イオン質量分析計または四重極二次イオン質量分析計における強度スケールの直線性からの乖離の許容限界に対する最大計数率を決定する方法を規定します。 これは、低濃度領域と高濃度領域の間で徐々に濃度が変化する標準物質中の 2 つの同位体の深さ方向プロファイル分析に基づくテストを使用します。 検出器のデッドタイムによって引き起こされる飽和強度の補正方法も含まれています。 この補正により、95 % の直線性の強度範囲が広がるため、関連する補正式が有効であることが示されている分光計に対して、より高い最大計数率を使用できるようになります。 この文書は飛行時間型質量分析計には適用されません。 この文書は、微量同位体を含む元素にのみ適用されます。 元素が単同位体である場合、または同位体が同じ存在量で含まれている場合には適用されません。

ISO 20411:2018 規範的参照

• ISO 18115-1:2013 表面化学分析 用語集 パート 1: 一般用語と分光学的用語
• ISO 18115-2:2013 表面化学分析 用語集 パート 2: 走査型プローブ顕微鏡で使用される用語。

ISO 20411:2018 発売履歴

• 2018 ISO 20411:2018 表面化学分析、二次イオン質量分析、単一イオンカウンティング動的二次イオン分析における飽和強度の補正方法。