DIN 32567-4:2015
マイクロシステム製造装置の材料が光学的および触覚的寸法計測に及ぼす影響の測定 パート 4: 光学的手順試験片
ホーム
DIN 32567-4:2015
規格番号
DIN 32567-4:2015
制定年
2015
出版団体
German Institute for Standardization
状態
入れ替わる
に置き換えられる
DIN 32567-4:2015-06
最新版
DIN 32567-4:2015-06
交換する
DIN 32567-4:2014
DIN 32567-4:2015 規範的参照
DIN 32564-1:2004
マイクロシステム製造装置 用語と定義 第 1 部: マイクロシステム技術の一般用語
DIN 32567-1:2015
マイクロシステム製造装置の光学的および触覚的寸法計測に対する材料の影響の決定 パート 1: 材料および手順に特有の影響の定性的推定
DIN 32567-2:2014
マイクロシステム製造装置 光学的および触覚的寸法測定に対する材料の影響の測定 パート 2: 触覚的手順のサンプル
ISO 8255-1:2011
顕微鏡、カバースリップ、パート 1: 寸法公差、厚さ、および光学特性
DIN 32567-4:2015 発売履歴
2015
DIN 32567-4:2015-06
マイクロシステム製造装置の材料が光学的および触覚的寸法計測に及ぼす影響の測定パート 4: サンプル光学手順
2015
DIN 32567-4:2015
マイクロシステム製造装置の材料が光学的および触覚的寸法計測に及ぼす影響の測定 パート 4: 光学的手順試験片
1970
DIN 32567-4 E:2014-11
マイクロシステムの製造装置 - 光学的および触覚的寸法計測に対する材料の影響の決定 - パート 4: 光学的手順のための試料
0000
DIN 32567-4:2014
© 著作権 2024