DIN 50989-1:2018
エリプソメトリー パート 1: 原則、ドイツ語と英語のテキスト
- 規格番号
- DIN 50989-1:2018
- 制定年
- 2018
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 最新版
- DIN 50989-1:2018
- 交換する
- DIN 50989-1:2017
- 範囲
- この規格は、アットライン生産管理、品質保証、材料開発の範囲で、UV-VIS-NIRスペクトル範囲の光学定数と誘電率、および層の厚さを決定する方法であるエリプソメトリーを扱います。
DIN 50989-1:2018 規範的参照
- DIN EN ISO/IEC 17025:2005 試験および校正ラボの能力に関する一般要件
- ISO/IEC Guide 98-3:2008 測定の不確かさ パート 3: 測定の不確かさの表現に関するガイドライン (GUM-1995)
DIN 50989-1:2018 発売履歴
- 2018 DIN 50989-1:2018 エリプソメトリー パート 1: 原則、ドイツ語と英語のテキスト
- 1970 DIN 50989-1 E:2017-04 エリプソメトリー - パート 1: 原則
- 0000 DIN 50989-1:2017
