ASTM E2338-17
標準の基準オーバーレイを使用せずに、適切な渦電流センサーを使用してオーバーレイ特性を評価するための標準的な手法

規格番号

ASTM E2338-17

制定年

2017

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM E2338-22

最新版

ASTM E2338-22

範囲

4.1&# 適合性の高い渦電流センサー&#—適合性の高い渦電流センサーは、フィレットや円筒面などの平面と曲面の両方で使用できます。 モデルと一緒に使用すると、センサーの応答と適切な予測が可能になります。 これらのセンサーは、電気伝導率や透磁率などの物理的特性の変化に加え、基板上の導電性コーティングの厚さ、導電性基板または導電性コーティング上の非導電性コーティングの厚さなどの変化を測定できます。 これらの特性の変化を使用して、導電性コーティング内の不均一な領域、たとえば、局所的に多孔度が高い領域を検出し、特徴付けることができます。 4.2&# センサーおよびセンサー アレイ&#—用途に応じて、単一感知素子センサーまたはセンサー アレイのいずれかをコーティングの特性評価に使用できます。 センサーアレイは、コーティングの厚さおよび/または導電率の空間変化（たとえば、空隙率の変化を反映）をマッピングする優れた機能を提供し、広い領域をスキャンするためのより優れたスループットを提供します。 センサーの設置面積、アレイ内のセンサー素子のサイズと数は、アプリケーションの要件と制約、および非導電性 (セラミックなど) コーティングの厚さに依存します。 4.3&# コーティングの厚さの範囲—センサーが最高のパフォーマンスを発揮する導電性コーティングの厚さの範囲は、基板と導電性コーティングの導電率の差と利用可能な周波数範囲によって異なります。 たとえば、インピーダンス測定用の特定の周波数範囲を備えた特定のセンサー形状は、ニッケル合金基板上の MCrAlY コーティングに対して、比較的広い範囲の導電性コーティングの厚さ (たとえば、75 から 400 &#&#) に対して許容可能な性能を提供する可能性があります。 x03bc;m (0.003 ～ 0.016 インチ)。 しかし、別の導電性コーティングと基材の組み合わせでは、この範囲は10から100μm(0.0004から0.004インチ)になる可能性がある。 コーティングの特性評価性能は、非導電性トップコートの厚さに依存する場合もあります。 どのようなコーティング システムでも、最適な性能の範囲を確立するには、代表的なコーティングされた試験片での性能検証が重要です。 セラミックコーティングなどの非導電性コーティングの場合、センサーの空間波長が長くなるにつれて厚さの測定範囲が広がります（たとえば、より厚いコーティングはセンサー巻線の空間波長を大きくすると測定できます）。 非導電性コーティングの場合、コーティングの粗さが厚さ測定に重大な影響を与える可能性がある場合、たとえばプロフィロメトリーによる非導電性コーティングの粗さの独立した測定により、粗さの影響が補正される可能性があります。 4.4 プロセス影響ゾーン—ショットピーニングなどの一部のプロセスでは、プロセス影響ゾーンは有効層厚と導電率で表すことができます。 これらの値は、プロセスの品質を評価するために使用できます。 これらの「効果的なコーティング」の間には強い相関関係が証明されなければなりません。 特性とプロセス品質。 4.5&# 3 未知アルゴリズム&#—複数周波数のインピーダンス測定と 3 未知アルゴリズムを使用すると、3 つの未知数を独立して決定できます。

ASTM E2338-17 発売履歴

• 2022 ASTM E2338-22 コーティングされていない参照標準を使用したコンフォーマル渦電流センサーを使用したコーティングの特性評価の標準的な手法
• 2017 ASTM E2338-17 標準の基準オーバーレイを使用せずに、適切な渦電流センサーを使用してオーバーレイ特性を評価するための標準的な手法
• 2011 ASTM E2338-11 コーティングされていない参照標準を使用する場合の一貫した渦電流センサーを使用したコーティング特性の標準手法
• 2006 ASTM E2338-06 コーティングされていない参照標準が使用される場合、一貫した渦電流センサーを使用したコーティング特性の標準的な実践
• 2004 ASTM E2338-04 コーティング参照標準を使用せずに、一貫した渦電流センサー法を使用してコーティングの特性評価を行うための標準的な手法