IEC 62047-28:2017
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 28: 振動駆動 MEMS エレクトレット エネルギー ハーベスティング デバイスの性能試験方法

規格番号

IEC 62047-28:2017

制定年

2017

出版団体

International Electrotechnical Commission (IEC)

最新版

IEC 62047-28:2017

交換する

IEC 47F/266/FDIS:2016

範囲

IEC 62047 のこの部分では、消費者、産業、またはあらゆる用途の特性パラメーターを決定するための用語と定義、および振動駆動 MEMS エレクトレット エネルギー ハーベスティング デバイスの性能試験方法を規定しています。 この文書は、ギャップが 1000 μm 未満の電極が電荷がトラップされた誘電体材料で覆われ、エッチング、フォトリソグラフィー、または蒸着などの MEMS プロセスによって製造される振動駆動エレクトレットエネルギーハーベスティングデバイスに適用されます。

IEC 62047-28:2017 発売履歴

• 2017 IEC 62047-28:2017 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 28: 振動駆動 MEMS エレクトレット エネルギー ハーベスティング デバイスの性能試験方法