IEC 62047-1:2016
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 1: 用語と定義
- 規格番号
- IEC 62047-1:2016
- 制定年
- 2016
- 出版団体
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- 最新版
- IEC 62047-1:2016
- 交換する
- IEC 47F/232/FDIS:2015 IEC 62047-1:2005
- 範囲
- IEC 62047 のこの部分では、マイクロ電気機械デバイスの生産プロセスを含む用語を定義しています。
IEC 62047-1:2016 発売履歴
- 2016 IEC 62047-1:2016 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 1: 用語と定義
- 2005 IEC 62047-1:2005 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 1: 用語と定義
