GB/T 32814-2016
シリコンベースのMEMS製造技術 SOIシリコンウェーハに基づくMEMSプロセス仕様 (英語版)

規格番号

GB/T 32814-2016

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2016

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 32814-2016

範囲

この規格は、MEMS デバイス処理に SOI シリコン ウェーハを使用する際に従うべきプロセス要件と品質検査要件を指定します。 この規格は、シリコンベースのMEMS製造技術において、SOIシリコンウェーハをベースとしたMEMSデバイスの加工と品質検査に適用されます。

GB/T 32814-2016 規範的参照

• GB 50073 クリーンプラント設計仕様
• GB/T 26111 微小電気機械システム (MEMS) の専門用語*， 2023-05-23 更新するには

GB/T 32814-2016 発売履歴

• 2016 GB/T 32814-2016 シリコンベースのMEMS製造技術 SOIシリコンウェーハに基づくMEMSプロセス仕様