GB/T 13388-1992
シリコンウェーハ基準面の結晶方位のX線測定方法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 13388-1992
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1992
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2010-06
- に置き換えられる
- GB/T 13388-2009
- 最新版
- GB/T 13388-2009
- 範囲
- この規格は、X 線技術を使用してシリコンウェーハの基準面の結晶方位を測定する方法を規定しています。 この規格は、シリコンウェーハ基準面の結晶方位と基準面の指定された方位の間の角度偏差の測定に適用できます。 シリコンウェハの直径は50～125mm、基準面の長さは10～50mmです。 この規格は、基準面およびシリコンウェーハ表面に垂直な面内に指定された方位を有するシリコンウェーハ、およびシリコンウェーハ表面の投影とシリコンウェーハの法線との間の角度の測定には適用されません。 表面は3°以上です。
GB/T 13388-1992 発売履歴
- 2009 GB/T 13388-2009 シリコンウェーハ基準面の結晶方位X線検査方法
- 1992 GB/T 13388-1992 シリコンウェーハ基準面の結晶方位のX線測定方法
