GB/T 14143-1993
300～900μmシリコンウェーハギャップ中の酸素含有量の赤外吸収測定法 (英語版)

規格番号

GB/T 14143-1993

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1993

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

状態

入れ替わる 2006-11

に置き換えられる

GB/T 1557-2006

最新版

GB/T 1557-2018

範囲

この規格は、厚さ300～900μmのシリコンウェーハの隙間中の酸素含有量を赤外線吸収法により測定する方法を規定しています。 この規格は、室温抵抗率が 0.1Ω・cm を超えるシリコンウェーハ間のギャップの酸素含有量の測定に適用されます。 測定範囲は3×1016atcm-3からシリコン中の格子間酸素の最大固溶度までです。

GB/T 14143-1993 発売履歴

• 2018 GB/T 1557-2018 シリコン結晶中の格子間酸素量の赤外吸収測定法
• 2006 GB/T 1557-2006 シリコン結晶中の格子間酸素量の赤外吸収測定法
• 1993 GB/T 14143-1993 300～900μmシリコンウェーハギャップ中の酸素含有量の赤外吸収測定法

GB/T 14143-1993 300～900μmシリコンウェーハギャップ中の酸素含有量の赤外吸収測定法 は GB/T 1557-2006 シリコン結晶中の格子間酸素量の赤外吸収測定法 に変更されます。