GB/T 14142-1993
シリコンエピタキシャル層結晶の完全性検査方法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 14142-1993
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1993
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2018-04
- に置き換えられる
- GB/T 14142-2017
- 最新版
- GB/T 14142-2017
- 範囲
- この規格は、シリコンエピタキシャル層の結晶欠陥を化学エッチングにより表示したり、金属顕微鏡により検査したりする方法を規定しています。 この規格はシリコンエピタキシャル層の積層欠陥や転位密度の測定に適用されます。 シリコンエピタキシャル層の厚さは 2μm 以上である必要があります。 測定範囲は010000cm2です。
GB/T 14142-1993 発売履歴
- 2017 GB/T 14142-2017 シリコンエピタキシャル層結晶健全性検査法 腐食法
- 1993 GB/T 14142-1993 シリコンエピタキシャル層結晶の完全性検査方法
