SJ/T 11489-2015
低転位密度リン化インジウム研磨ウェーハのピット密度の測定方法 (英語版)
- 規格番号
- SJ/T 11489-2015
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2015
- 出版団体
- Professional Standard - Electron
- 最新版
- SJ/T 11489-2015
- 範囲
- この規格は、低転位密度リン化インジウム (InP) 研磨シートの腐食ピット密度 (EPD) の測定方法を指定します。 この規格は、直径 2 インチ、EPD が 5,000/cm 未満の円形 InP ウェーハの EPD の測定に適用されます。
SJ/T 11489-2015 規範的参照
- GB/T 14264 半導体材料用語
SJ/T 11489-2015 発売履歴
- 2015 SJ/T 11489-2015 低転位密度リン化インジウム研磨ウェーハのピット密度の測定方法
