GB/T 32281-2015
二次イオン質量分析によるソーラーグレードシリコンウェーハおよび材料中の酸素、炭素、ホウ素、リンの測定 (英語版)

規格番号

GB/T 32281-2015

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2015

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 32281-2015

範囲

この規格は、ソーラーグレードのシリコンウェーハおよびシリコン材料中の酸素、炭素、ホウ素、リンの含有量の二次イオン質量分析 (SIMS) 検出方法を規定しています。 この規格は、深さによって変化せず補償を考慮しないソーラーグレードの単結晶または多結晶シリコンウェーハまたはシリコン材料中の酸素、炭素、ホウ素、リンの体積含有量の検出に適用されます。 各元素含有量の検出限界は 0.2%（すなわち、

GB/T 32281-2015 規範的参照

• ASTM E673 表面解析に関する標準用語
• GB/T 14264 半導体材料用語
• GB/T 2828.1 目録抜き取り検査手順その1：合格品質限界（AQL）から探すロットごとの抜き取り検査計画

GB/T 32281-2015 発売履歴

• 2015 GB/T 32281-2015 二次イオン質量分析によるソーラーグレードシリコンウェーハおよび材料中の酸素、炭素、ホウ素、リンの測定