GB/T 32277-2015
シリコンの中性子放射化装置分析試験方法 (英語版)

規格番号

GB/T 32277-2015

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2017

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 32277-2015

範囲

1.1 この規格は、シリコン材料の機器中性子放射化分析試験方法を規定します。 1.2 「この規格は、化学気相成長または冶金的精製方法によって製造されたシリコン材料の機器中性子放射化分析に適用されます。 分析サンプルは単シリコンまたは多結晶シリコンであり、多結晶シリコンの形状は粉末、顆粒、ブロック、シリコンのいずれかです。 」ウェーハ 1.3」 この規格は、材料の巨視的組成分析に適用されます。 この試験方法に従って追加のサンプル前処理が実行され、サンプルの抽出、移送、および前処理中に表面汚染が回避される場合、サンプルの表面または表面近傍領域の分析も行うことができます。 1.4 この試験方法は、付録 A にリストされている微量元素の熱中性子または外熱中性子放射化分析にのみ適用されます。 1.5 この試験方法は、アモルファス シリコン薄膜、多結晶シリコン薄膜、または微結晶シリコン薄膜の分析には適用されません。 。 高濃度の特殊元素を人工的にドープしたシリコンサンプルは、この試験方法の適用範囲には属しませんが、安全性、検出限界、最小待機時間 tw に対するドーピングの影響を確認した後、この試験方法は引き続き適用できる可能性があります。 1.6 この試験方法は、広範囲の微量元素の分析を目的としています（付録 A を参照）。 通常、試料の照射時間はSiのトレーニング寿命より長く、再照射により生成したSiが十分に減衰してから分析を行ってください。

GB/T 32277-2015 規範的参照

• GB 18871 電離放射線防護および放射線源の安全性に関する基本基準
• GB/T 14264 半導体材料用語
• GB/T 620 化学試薬フッ化水素酸
• GB/T 626 化学試薬硝酸
• GJB 2253 窒素および液体窒素の安全な使用に関するガイドライン
• ISO 11929:2010 電離放射線測定の特性限界（判定閾値、検出限界、信頼区間限界）の決定 基本原理と応用

GB/T 32277-2015 発売履歴

• 2017 GB/T 32277-2015 シリコンの中性子放射化装置分析試験方法