BS ISO 13083:2015
表面化学分析、走査型プローブ顕微鏡、2D ドーピング イメージングなどの用途向けの SSRM や SCM など、走査型電子プローブ顕微鏡 (ESPM) における空間分解能と校正標準の定義。

規格番号

BS ISO 13083:2015

制定年

2015

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS ISO 13083:2015

BS ISO 13083:2015 規範的参照

• ISO 18115-2 表面化学分析用語集 パート 2: 走査型プローブ顕微鏡の用語*， 2021-12-21 更新するには
• ISO 18516 表面化学分析 - ナノメートルからミクロンの範囲でのビームベースの方法の横方向の分解能と鮮鋭度の決定*， 2019-01-14 更新するには

BS ISO 13083:2015 発売履歴

• 2015 BS ISO 13083:2015 表面化学分析、走査型プローブ顕微鏡、2D ドーピング イメージングなどの用途向けの SSRM や SCM など、走査型電子プローブ顕微鏡 (ESPM) における空間分解能と校正標準の定義。