GJB 8153-2013
大口径平面光学部品の表面形状を測定するためのフィゾー干渉法 (英語版)

規格番号

GJB 8153-2013

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2013

出版団体

Military Standard of the People's Republic of China-General Armament Department

最新版

GJB 8153-2013

範囲

この規格は、フィゾー干渉計を使用して大口径平面光学部品の表面形状と波面誤差を測定するための測定方法、手順、および要件を指定します。 この規格は、フィゾー干渉計による外接円直径100mm以上の平面光学素子の透過波面誤差および反射波面誤差の測定に適用されます。 他の口径の光学素子も参照により実装できます。

GJB 8153-2013 発売履歴

• 2013 GJB 8153-2013 大口径平面光学部品の表面形状を測定するためのフィゾー干渉法