YS/T 1025-2015
電子薄膜用高純度タングステンおよびタングステン合金スパッタリングターゲット (英語版)

規格番号

YS/T 1025-2015

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2015

出版団体

Professional Standard - Non-ferrous Metal

最新版

YS/T 1025-2015

範囲

この規格は、電子薄膜用の高純度タングステンおよびタングステン合金スパッタリングターゲットの要件、試験方法、検査規則とマーク、梱包、輸送、保管、注文書（または契約書）などを規定しています。 この規格は、電子薄膜用の高純度タングステンおよびタングステン合金スパッタリングターゲット（以下、高純度タングステンおよびタングステン合金ターゲットといいます）に適用されます。

YS/T 1025-2015 発売履歴

• 2015 YS/T 1025-2015 電子薄膜用高純度タングステンおよびタングステン合金スパッタリングターゲット