SJ/T 11504-2015
炭化珪素単結晶研磨ウェーハの表面品質試験方法 (英語版)

規格番号

SJ/T 11504-2015

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2015

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ/T 11504-2015

範囲

この規格は、炭化珪素単結晶研磨ウェーハ（以下「研磨ウェーハ」という）の表面品質の外観検査方法を規定したものである。 この規格は、片面または両面研磨された炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハの表面品質の検出に適用されます。

SJ/T 11504-2015 発売履歴

• 2015 SJ/T 11504-2015 炭化珪素単結晶研磨ウェーハの表面品質試験方法