SJ/T 11503-2015
炭化珪素単結晶研磨ウェーハの表面粗さの試験方法 (英語版)

規格番号

SJ/T 11503-2015

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2015

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ/T 11503-2015

範囲

この規格は、表面形状測定や原子間力顕微鏡など、炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハの表面粗さを試験する方法を規定しています。 この規格は、炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハの表面粗さの試験に適用されます。 このうち、原子間力顕微鏡法は、化学機械研磨または光学研磨され、表面粗さの変動が数十ナノメートルから数ミクロンの範囲にある炭化珪素単結晶研磨ウェーハにのみ適用できます。

SJ/T 11503-2015 発売履歴

• 2015 SJ/T 11503-2015 炭化珪素単結晶研磨ウェーハの表面粗さの試験方法