SJ/T 11502-2015
炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハの仕様 (英語版)
- 規格番号
- SJ/T 11502-2015
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2015
- 出版団体
- Professional Standard - Electron
- 最新版
- SJ/T 11502-2015
- 範囲
- この仕様書は、炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハの用語と定義、等級、要件、試験方法、検査規則、梱包、マーキング、保管および輸送を規定する。 この仕様は、結晶形 6H および 4H、片面または両面研磨、直径 100 mm 以下の炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハに適用されます。 他の結晶形またはサイズの炭化珪素単結晶研磨ウェーハを基準として使用することもできる。
SJ/T 11502-2015 発売履歴
- 2015 SJ/T 11502-2015 炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハの仕様
