SJ/T 11497-2015
ガリウムヒ素ウェーハの熱安定性の試験方法 (英語版)

規格番号

SJ/T 11497-2015

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2015

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ/T 11497-2015

範囲

この規格は、半絶縁性ガリウムヒ素 (GaAs) ウェーハの熱安定性の試験方法を規定しています。 この規格は、抵抗率が10Ω・cm～10Ω・cmの範囲の半絶縁性ガリウム砒素単結晶材料の熱安定性試験に適用されます。

SJ/T 11497-2015 発売履歴

• 2015 SJ/T 11497-2015 ガリウムヒ素ウェーハの熱安定性の試験方法