SJ/T 11495-2015
シリコン内の格子間酸素の換算係数のガイド (英語版)
- 規格番号
- SJ/T 11495-2015
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2015
- 出版団体
- Professional Standard - Electron
- 最新版
- SJ/T 11495-2015
- 範囲
- この規格は、シリコン内の格子間酸素の換算係数のガイドラインを指定します。 この規格は、室温での抵抗率が 0.1 Ω・cm を超える n 型シリコン単結晶および抵抗率が 0.5 Ω・cm を超える p 型シリコン単結晶の格子間酸素含有量を試験するのに適しています。
SJ/T 11495-2015 発売履歴
- 2015 SJ/T 11495-2015 シリコン内の格子間酸素の換算係数のガイド
