SJ/T 11487-2015
半絶縁性半導体ウエハの非接触抵抗率測定法 (英語版)

規格番号

SJ/T 11487-2015

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2015

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ/T 11487-2015

範囲

この規格は、半絶縁性半導体ウェーハの抵抗率の非接触測定方法を規定しています。 この規格は半絶縁性ガリウムヒ素、リン化インジウム、炭化ケイ素などの高抵抗半導体材料の抵抗率の測定に適用され、抵抗率の測定範囲は10Ω・cm～10Ω・cmです。

SJ/T 11487-2015 発売履歴

• 2015 SJ/T 11487-2015 半絶縁性半導体ウエハの非接触抵抗率測定法