KS A 0083-2013
質量分析計のリーク検出器の校正

規格番号

KS A 0083-2013

制定年

2013

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

KS A 0083-2013(2018)

最新版

KS A 0083-2023

交換する

KS A 0083-2002

範囲

この標準は質量分析計を検知器として使用し、その分析管を作動可能な真空状態に維持するための真空排気系を内蔵する質量分析計型漏れ検出器（以下漏れ検出器という。 ）の校正方式について規定する。 この方法は主にヘリウム４の使用に適用され、他のガスの使用にも準用される。

KS A 0083-2013 発売履歴

• 2023 KS A 0083-2023 質量分析計のリーク検出器の校正
• 0000 KS A 0083-2013(2018)
• 2013 KS A 0083-2013 質量分析計のリーク検出器の校正
• 2002 KS A 0083-2002 質量分析計のリーク検出器の校正
• 0000 KS A 0083-1989