GB/T 31352-2014
サファイア基板の反り試験方法 (英語版)

規格番号

GB/T 31352-2014

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2014

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 31352-2014

範囲

この規格は、サファイアのカッティングディスク、研削ディスク、研磨ディスク（以下、サファイア基板ディスクといいます）の反りの試験方法を規定しています。 この規格は、直径50.8mm～304.8mm、厚さ200μm以上のサファイア基板の反り試験に適用されます。

GB/T 31352-2014 規範的参照

• GB/T 14264 半導体材料用語
• GB/T 2828.1 目録抜き取り検査手順その1：合格品質限界（AQL）から探すロットごとの抜き取り検査計画
• GB/T 6620 シリコンウェーハの反りの非接触検査方法

GB/T 31352-2014 発売履歴

• 2014 GB/T 31352-2014 サファイア基板の反り試験方法