GB/T 31351-2014
炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハのマイクロチューブ密度の非破壊検査法 (英語版)

規格番号

GB/T 31351-2014

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2014

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 31351-2014

範囲

この規格は、4H および 6H の炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハのマイクロパイプ密度の非破壊検査方法を規定しています。 この規格は、4H結晶および6H結晶の炭化珪素単結晶研磨ウェーハの片面研磨または両面研磨後のマイクロパイプ径が1ミクロンから数十ミクロンの範囲のマイクロパイプ密度の測定に適用されます。

GB/T 31351-2014 発売履歴

• 2014 GB/T 31351-2014 炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハのマイクロチューブ密度の非破壊検査法