GB/T 30653-2014
III族窒化物エピタキシャルウェーハの結晶品質検査方法 (英語版)

規格番号

GB/T 30653-2014

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2014

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 30653-2014

範囲

この規格は、高分解能 X 線回折装置による III 族窒化物エピタキシャル ウェーハの結晶品質を試験する方法を規定しています。 この規格は、窒化物 (Ga、In、Al) N 単層または多層の不均一エピタキシャル ウェーハの結晶化品質試験に適用されます。 他の異種エピタキシャルウェーハの結晶品質のテストでもこの規格を参照できます。

GB/T 30653-2014 発売履歴

• 2014 GB/T 30653-2014 III族窒化物エピタキシャルウェーハの結晶品質検査方法