JIS C 5630-18:2014
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 18: 薄膜材料の曲げ試験方法

規格番号

JIS C 5630-18:2014

制定年

2014

出版団体

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

最新版

JIS C 5630-18:2014

JIS C 5630-18:2014 規範的参照

• JIS C 5630-6 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 6: 薄膜材料の軸方向疲労試験方法

JIS C 5630-18:2014 発売履歴

• 2014 JIS C 5630-18:2014 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 18: 薄膜材料の曲げ試験方法