GB/T 31058-2014
電子産業用ガス四フッ化ケイ素 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 31058-2014
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2014
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 31058-2014
- 範囲
- この規格は、四フッ化ケイ素の技術要件、試験方法、標識、梱包、輸送および保管を規定しています。 この規格は、蛍石硫酸法、ヘキサフルオロケイ酸塩の熱分解法、および単体ケイ素の直接フッ素化によって製造された四フッ化ケイ素に適用されます。 主に電子産業におけるプラズマエッチング、発光ダイオードのP型ドーピング、イオン注入プロセス、シリコン源のエピタキシャル堆積と拡散、光ファイバー用の高純度石英ガラスの原料として使用されており、また、ポリシリコン製造の重要な原料。 分子式：SiF4。 相対分子量: 104.0786128 (2009 年の国際原子相対質量による)。
GB/T 31058-2014 規範的参照
- GB 14194 ガスシリンダー充填に関する恒久的な規制
- GB 15258 化学物質安全ラベル作成規則
- GB 16804 ガスボトルの警告ラベル
- GB 190 危険物包装標識
- GB 5099 スチールシームレスガスシリンダー
- GB 7144 ガスシリンダーのカラーマーク
- GB/T 26571 特殊ガス貯蔵期間仕様
- GB/T 28726-2012 ガス分析 - ヘリウムイオン化ガスクロマトグラフィー
- GB/T 28727 ガス分析 硫化物の測定 炎光光度ガスクロマトグラフィー
- GB/T 3723 工業用化学製品のサンプリングに関する一般的な安全原則
GB/T 31058-2014 発売履歴
- 2014 GB/T 31058-2014 電子産業用ガス四フッ化ケイ素
