KS D 0259-2012
シリコンウェーハの厚さ、厚さのばらつき、および曲率を測定する方法

規格番号

KS D 0259-2012

制定年

2012

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

KS D 0259-2012(2017)

最新版

KS D 0259-2022

交換する

KS D 0259-2007

範囲

この規格は、シリコン単結晶ウエハ（以下、ウエハという。 ）の厚さ、厚さ変化、反りの測定

KS D 0259-2012 発売履歴

• 2022 KS D 0259-2022 シリコンウェーハの厚み、厚みばらつき、反りの測定方法
• 0000 KS D 0259-2012(2017)
• 2012 KS D 0259-2012 シリコンウェーハの厚さ、厚さのばらつき、および曲率を測定する方法
• 0000 KS D 0259-2007