KS D 2715-2006
単結晶シリコンおよび多結晶シリコンのナノ/マイクロフィルムの引張試験片

規格番号

KS D 2715-2006

制定年

2006

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

撤回

に置き換えられる

KS D 2715-2006(2011)

最新版

KS D 2715-2017

範囲

この規格は、半導体プロセスを用いて作製されるナノ/マイクロサイズの厚さを有する単結晶

KS D 2715-2006 発売履歴

• 2017 KS D 2715-2017 単結晶および多結晶ナノ/ミクロン薄膜材料の引張試験片
• 0000 KS D 2715-2006(2011)
• 2006 KS D 2715-2006 単結晶シリコンおよび多結晶シリコンのナノ/マイクロフィルムの引張試験片