KS B 8400-2-2010
レーザーおよびレーザー関連機器 レーザー変位測定干渉計の試験方法 第 2 部 レーザー干渉計の試験方法

規格番号

KS B 8400-2-2010

制定年

2010

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

撤回

に置き換えられる

KS B 8400-2-2015

最新版

KS B 8400-2-2020

範囲

この規格は、搬送台の変位を測定するレーザ干渉計の特性を測定し評価する方法について

KS B 8400-2-2010 発売履歴

• 2020 KS B 8400-2-2020 レーザおよびレーザ関連機器 ―変位測定用レーザ干渉計の試験方法― 第2部：レーザ干渉計の試験方法
• 2015 KS B 8400-2-2015 レーザーおよびレーザー関連機器 レーザー変位測定干渉計の試験方法 第 2 部 レーザー干渉計の試験方法
• 2010 KS B 8400-2-2010 レーザーおよびレーザー関連機器 レーザー変位測定干渉計の試験方法 第 2 部 レーザー干渉計の試験方法