KS B 7068-2002
XY作業台動作位置制御精度試験コード

規格番号

KS B 7068-2002

制定年

2002

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

撤回

に置き換えられる

KS B 7068-2002(2017)

最新版

KS B 7068-2002(2022)

範囲

この規格は、半導体機器、産業用機器などの位置決め機器のうち、搬送距離がX、Y方向に

KS B 7068-2002 発売履歴

• 0000 KS B 7068-2002(2022)
• 0000 KS B 7068-2002(2017)
• 2002 KS B 7068-2002 XY作業台動作位置制御精度試験コード