YS/T 987-2014
クロロシラン中の炭素不純物の定量方法 - メチルジクロロシランの定量 (英語版)
- 規格番号
- YS/T 987-2014
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2014
- 出版団体
- Professional Standard - Non-ferrous Metal
- 状態
- 2022-04
- に置き換えられる
- YS/T 987-2021
- 最新版
- YS/T 987-2021
- 範囲
- この規格は、クロロシラン中の炭素不純物の定量方法を規定しており、主にトリクロロシラン中のメチルジクロロシランの定量と四塩化ケイ素中のメチルジクロロシランの定量が含まれます。 この標準は、トリクロロシラン中のメチルジクロロシランの定量および四塩化ケイ素中のメチルジクロロシランの定量に適用されます。 トリクロロシランおよび四塩化ケイ素中のメチルジクロロシランの検出範囲は 0.000 01% ～ 1.00% です。
YS/T 987-2014 規範的参照
- GB/T 4844.3 高純度ヘリウム
YS/T 987-2014 発売履歴
- 2021 YS/T 987-2021 ガスクロマトグラフィー質量分析によるクロロシラン中の炭素含有量の測定
- 2014 YS/T 987-2014 クロロシラン中の炭素不純物の定量方法 - メチルジクロロシランの定量
