YS/T 986-2014
ウェーハの前面にある一連の英数字マーキングの仕様 (英語版)

規格番号

YS/T 986-2014

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2014

出版団体

Professional Standard - Non-ferrous Metal

最新版

YS/T 986-2014

範囲

この規格は、シリコン ウェーハまたはその他の半導体ウェーハ上の連続する一連の文字と数字を指定します。 番号タグと関連情報は、ウェーハやデバイスの製造中の各ウェーハのトレーサビリティと管理を目的としてデータベースに保存されます。 この規格は、ウェーハマーキングの基本的なコーディング要件を定義します。 ウェーハを取り扱うことなく、簡単な自動光学文字認識装置を使用してマークを独立して迅速に手動で認識することができ、シリコンウェーハメーカーによるウェーハマークの一貫性が保証され、ウェーハプロセスの変化の監視が容易になります。 この規格は、エピタキシャルウェーハ、SOIウェーハ、研磨ウェーハなどの幅広いウェーハ製品に適用されます。 この規格は、英数字を含むマーキングの幾何学的寸法と空間的位置を定義しており、特に基準面とノッチを持つシリコン研磨ウェーハに適用されます。 この規格は、マーキングを作成するための技術をカバーしていません。

YS/T 986-2014 発売履歴

• 2014 YS/T 986-2014 ウェーハの前面にある一連の英数字マーキングの仕様