YS/T 983-2014
多結晶シリコン還元炉及び水素化炉の排ガス成分の定量方法 (英語版)

規格番号

YS/T 983-2014

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2014

出版団体

Professional Standard - Non-ferrous Metal

最新版

YS/T 983-2014

範囲

この規格は、多結晶シリコンの還元炉および水素化炉からの排ガス成分の定量方法を規定しています。 この規格は、改良型シーメンスプロセス還元炉および水素化炉の排ガス成分 (水素、塩化水素、トリクロロシラン、ジクロ二水素シリコンおよび四塩化シリコン) の測定に適用されます。 検出範囲は体積分率0.1%～100%です。

YS/T 983-2014 規範的参照

• GB/T 7445 純水素、高純度水素、超純水素
• GB/T 8979 純窒素、高純度窒素、超純窒素

YS/T 983-2014 発売履歴

• 2014 YS/T 983-2014 多結晶シリコン還元炉及び水素化炉の排ガス成分の定量方法