NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 21: 薄膜 MEMS 材料のポアソン比の試験方法

規格番号
NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014
制定年
2014
出版団体
Association Francaise de Normalisation
最新版
NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014
範囲
IEC 62047 のこの部分では、長さ、幅、厚さが 10 mm 未満の薄膜マイクロ電気機械システム (MEMS) 用材料に一軸および二軸荷重試験を適用して得られた結果からポアソン比を決定することが規定されています。 10μm未満です。

NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014 規範的参照

  • ASTM E132-04(2010) 室温におけるポアソン比の標準試験方法*， 2024-04-09 更新するには

NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014 発売履歴



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