ISO 13095:2014
表面化学分析、原子間力顕微鏡、ナノ構造測定用の AFM プローブ ハンドル プロファイルのオンサイト識別手順。

規格番号

ISO 13095:2014

制定年

2014

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 13095:2014

範囲

この国際規格は、AFM プローブ先端の形状、具体的にはシャンクとおおよその先端プロファイルを特徴付けるための 2 つの方法を指定しています。 これらの方法は、AFM プローブ先端のプロファイルを所定の平面に投影し、プローブ シャンクの特性も定義された動作条件下でその平面に投影します。 後者は、狭いトレンチや同様のプロファイルでの深さ測定に対する特定のプローブの有用性を示しています。 この国際規格は、半径が 50 を超えるプローブに適用されます。 ここで、uo は、プローブの特性を評価するために使用される参照サンプルのリッジ構造の幅の不確実性です。

ISO 13095:2014 規範的参照

• ISO 11039:2012 表面化学分析、走査型プローブ顕微鏡、ドリフト速度測定の標準。
• ISO 11952:2014 表面化学分析 走査型プローブ顕微鏡 SPM を使用した幾何学的量の決定: 測定システムの校正
• ISO 18115-2:2010 表面化学分析 用語集 パート 2: 走査型プローブ顕微鏡で使用される用語。
• ISO/TS 80004-4:2011 ナノテクノロジー、用語集、パート 4: ナノ構造材料

ISO 13095:2014 発売履歴

• 2014 ISO 13095:2014 表面化学分析、原子間力顕微鏡、ナノ構造測定用の AFM プローブ ハンドル プロファイルのオンサイト識別手順。