GB/T 30868-2014
化学エッチング法による炭化ケイ素枚葉ウェーハのマイクロチューブ密度の測定 (英語版)

規格番号

GB/T 30868-2014

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2014

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 30868-2014

範囲

この規格は、溶融水酸化カリウムの腐食法により炭化ケイ素単結晶のマイクロパイプ密度を測定する方法を規定したものである。 この規格は、炭化ケイ素単結晶マイクロパイプ密度の測定に適用されます。

GB/T 30868-2014 規範的参照

• GB/T 14264 半導体材料用語

GB/T 30868-2014 発売履歴

• 2014 GB/T 30868-2014 化学エッチング法による炭化ケイ素枚葉ウェーハのマイクロチューブ密度の測定