GB/T 30867-2014
炭化珪素枚葉ウェーハの厚みと総厚みばらつきの試験方法 (英語版)

規格番号

GB/T 30867-2014

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2014

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 30867-2014

範囲

この規格は、接触法と非接触法を含む、炭化ケイ素の単一ウェーハの厚さと総厚さ変動 (TTV) の試験方法を指定します。 この規格は直径30mm以上、厚さ0.13mm～1mmの炭化珪素枚葉ウェーハに適用されます。

GB/T 30867-2014 規範的参照

• GB/T 14264 半導体材料用語
• GB/T 25915.1-2010 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 空気清浄度クラス

GB/T 30867-2014 発売履歴

• 2014 GB/T 30867-2014 炭化珪素枚葉ウェーハの厚みと総厚みばらつきの試験方法