GB/T 30866-2014
炭化珪素枚葉径試験方法 (英語版)

規格番号

GB/T 30866-2014

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2014

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 30866-2014

範囲

この規格は、炭化ケイ素枚葉ウェーハの直径をマイクロメーターで測定する方法を規定しています。 この規格は炭化ケイ素枚葉ウェーハの直径の測定に適用されます。

GB/T 30866-2014 発売履歴

• 2014 GB/T 30866-2014 炭化珪素枚葉径試験方法