GB/T 30859-2014
太陽電池用シリコンウェーハの反り・うねり試験方法 (英語版)

規格番号

GB/T 30859-2014

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2014

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 30859-2014

範囲

この規格は、太陽電池用シリコンウェーハ（以下、シリコンウェーハという）の反りやうねりの試験方法を規定したものです。 この規格はシリコンウェーハの反りやうねりの試験に適用されます。

GB/T 30859-2014 規範的参照

• GB/T 14264 半導体材料用語
• GB/T 16747-2009 製品の幾何学的仕様 (GPS)、表面構造、等高線法、表面のうねりの語彙
• GB/T 18777 製品の幾何学的仕様 (GPS)、表面構造、プロファイル法、位相補正フィルターの計測学的特性
• GB/T 3505-2009 製品幾何学的仕様 (GPS)、表面構造、等高線法、用語、定義および表面構造パラメータ
• GB/T 6620 シリコンウェーハの反りの非接触検査方法
• GB/Z 26958.1 製品形状仕様 (GPS) フィルタリング パート 1: 概要と基本概念
• GB/Z 26958.20 製品形状仕様 (GPS)、フィルタリング、パート 20: 線形プロファイル フィルタ、基本概念
• GB/Z 26958.22 製品形状仕様 (GPS)、フィルタリング、パート 22: 線形プロファイル フィルタ、スプライン フィルタ
• GB/Z 26958.29 プロダクト ジオメトリ仕様 (GPS)、フィルタリング、パート 29: 線形輪郭フィルタ、スプライン ウェーブレット
• GB/Z 26958.30 製品形状仕様 (GPS) フィルタリング パート 30: 堅牢な等高線フィルターの基本概念*， 2017-02-28 更新するには
• GB/Z 26958.31 製品の幾何学的仕様 (GPS)、フィルタリング、パート 31: 堅牢な等高線フィルタ、ガウス回帰フィルタ
• GB/Z 26958.32 製品ジオメトリ仕様 (GPS)、フィルタリング、パート 32: 堅牢な等高線フィルタ、スプライン フィルタ
• GB/Z 26958.40 製品の幾何学的仕様 (GPS)、フィルタリング、パート 40: 形態学的輪郭フィルタ、基本概念
• GB/Z 26958.41 製品ジオメトリ仕様 (GPS)、フィルタリング、パート 41: 形態学的輪郭フィルタ、ディスクおよび水平線セグメント フィルタ。
• GB/Z 26958.49 製品幾何学的仕様 (GPS)、フィルタリング、パート 49: 形態学的輪郭フィルタ、スケール空間テクニック

GB/T 30859-2014 発売履歴

• 2014 GB/T 30859-2014 太陽電池用シリコンウェーハの反り・うねり試験方法