GB/T 5275.7-2014
ガス分析 ダイナミックボリューム法 校正用混合ガスの準備 第 7 部: サーマルマスフローコントローラー (英語版)

規格番号

GB/T 5275.7-2014

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2014

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 5275.7-2014

範囲

GB/T 5275 のこの部分では、市販のサーマルマスフローコントローラーを使用して、純ガスまたは混合ガスを使用して 2 つ以上の成分を含む校正混合ガスを連続的に準備する方法が詳しく説明されています。 この方法を使用して校正混合ガスを準備することによって達成できる最良のレベルは次のとおりです。 相対測定拡張不確かさ (合成標準不確かさに包含係数 k=2 を乗算して得られます) U は 2% 以下です。 純ガスの代わりに予混合ガスを使用すると、モル分率が 10-6 より低い混合ガスを調製できます。 質量流量の測定は絶対的なものではないため、質量流量コントローラは個別に校正する必要があります。 この調製方法の利点は、大量の混合ガスを連続的に調製できることであり、適切な数のサーマルマスフローコントローラーを使用する限り、二成分混合ガスと同様に簡便に多成分混合ガスを調製できることです。

GB/T 5275.7-2014 規範的参照

• GB/T 10628-2008 ガス分析 校正ガス混合組成の決定と検証 比較方法
• GB/T 14850-2008 ガス分析用語集
• GB/T 5275.1-2014 ガス分析用の動的容量法を使用した校正用混合ガスの準備 パート 1: 校正方法

GB/T 5275.7-2014 発売履歴

• 2014 GB/T 5275.7-2014 ガス分析 ダイナミックボリューム法 校正用混合ガスの準備 第 7 部: サーマルマスフローコントローラー

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