NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 11: 微小電気機械デバイスのサポートなしでの材料の線熱膨張係数の試験方法

規格番号

NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014

制定年

2014

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014

範囲

IEC 62047 のこの部分では、長さが 0.1 mm の間の薄い自立固体マイクロ電気機械システム (MEMS) 材料 (金属、セラミック、ポリマーなど) の線熱膨張係数 (CLTE) を測定するための試験方法を定義しています。 MEMSやマイクロマシンなどに使用される主要な構造材料である幅10ピコm～1mm、厚さ0.1ピコm～1mm。 この試験方法は、室温から材料の溶融温度の 30% までの温度範囲での CLTE の測定に適用できます。

NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014 発売履歴

• 2014 NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 11: 微小電気機械デバイスのサポートなしでの材料の線熱膨張係数の試験方法