GB/T 11297.6-1989
インジウムアンチモン化物単結晶における転位ピットの腐食表示と測定方法 (英語版)

規格番号

GB/T 11297.6-1989

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1989

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 11297.6-1989

範囲

この方法は硝酸－フッ酸エッチャント腐食を採用しており、インジウムアンチモン化物オリジナルウェーハ（１１１）上のインジウム面の転位を表示および測定するのに適している。 (111) 面からの測定面の偏差は 3° を超えてはなりません。

GB/T 11297.6-1989 発売履歴

• 1989 GB/T 11297.6-1989 インジウムアンチモン化物単結晶における転位ピットの腐食表示と測定方法

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