GOST R 8.863-2013
測定の一貫性を確保するための国家システム 10 nm ～ 30 nm の波長範囲でパワーと放射照度を測定する機器 検証手順

規格番号

GOST R 8.863-2013

制定年

2013

出版団体

RU-GOST R

最新版

GOST R 8.863-2013

GOST R 8.863-2013 規範的参照

• GOST 8.552-2001 ГСИ.0.03μm～0.4μm帯の放射束および放射照度測定ツール用の国家校正システム
• GOST R 8.736-2011 測定の一貫性を確保するための国家システム 複数の直接測定 測定結果の処理方法 主な立場

GOST R 8.863-2013 発売履歴

• 2013 GOST R 8.863-2013 測定の一貫性を確保するための国家システム 10 nm ～ 30 nm の波長範囲でパワーと放射照度を測定する機器 検証手順