JIS C 5630-12:2014
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、第12回：MEMS構造共振を利用した薄膜材料の曲げ疲労試験方法

規格番号

JIS C 5630-12:2014

制定年

2014

出版団体

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

最新版

JIS C 5630-12:2014

JIS C 5630-12:2014 規範的参照

• ISO 12107 金属材料、疲労試験、統計的計画およびデータ分析。
• JIS C 5630-3 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 3: 引張試験用フィルム標準試験片

JIS C 5630-12:2014 発売履歴

• 2014 JIS C 5630-12:2014 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、第12回：MEMS構造共振を利用した薄膜材料の曲げ疲労試験方法