KS B 6861-2009
ターボ分子ポンプの受け入れ試験方法

規格番号

KS B 6861-2009

制定年

2009

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

KS B 6861-2019

最新版

KS B 6861-2019

交換する

KS B 6861-1999

範囲

この規格は、ターボ分子ポンプとターボ分子ポンプの動作範囲を高背圧、高排気量に拡張した

KS B 6861-2009 発売履歴

• 2019 KS B 6861-2019 ターボ分子ポンプの受け入れ試験手順
• 2009 KS B 6861-2009 ターボ分子ポンプの受け入れ試験方法
• 0000 KS B 6861-1999